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半導(dǎo)體發(fā)光二極管及其生產(chǎn)工藝

  • 發(fā)布日期:2007-01-31 瀏覽次數(shù)641

      新型垂直結(jié)構(gòu)的氮化鎵基半導(dǎo)體發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)如下,中間媒介層層疊在生長襯底上,該中間媒介層的表面層是金屬層,氮化鎵基外延層層疊在該金屬層上,氮化鎵基外延層包括發(fā)光層,具有優(yōu)化圖形的第二電極層疊在氮化鎵基外延層上,在預(yù)定區(qū)域蝕刻氮化鎵基外延層直到該金屬層暴露,第一電極層疊在該金屬層的暴露區(qū)域上,因此,不但具有垂直結(jié)構(gòu)的氮化鎵基半導(dǎo)體發(fā)光二極管的優(yōu)點(diǎn),例如,電流分布均勻,電流擁塞改善,電流密度增大,充分利用發(fā)光層的材料,光取出效率提高,而且不需要目前尚不成熟的剝離生長襯底等制造傳統(tǒng)的垂直結(jié)構(gòu)的氮化鎵基半導(dǎo)體發(fā)光二極管的工藝步驟。
               


                       

 

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