———機械真空泵、油擴散泵
                      
         霓虹燈的制作主要過程有真空的獲得和保持，機械真空泵是獲得真空的主要設(shè)備，在霓虹燈制造過程中，通常采用機械真空泵做為前級泵，把管道內(nèi)的氣體抽到較低氣壓，一般達(dá)到中真空程度，然后用擴散泵做后級泵，在前級泵的工作基礎(chǔ)上把氣壓抽的更低，從而達(dá)到高真空和超高真空，達(dá)到理想的真空要求。
          ·基本參數(shù)：
           1、 抽氣速率：機械真空泵單位時間內(nèi)抽出氣體量的大小。如果體積用升，時間用秒，則抽速單位為升/秒，其它還有升/分，米3/小時來表示的，廠家在招牌上標(biāo)出的抽速是指泵的最大值(數(shù)值越小越好)。
           2、 極限壓強：經(jīng)過長時間抽氣后，機械真空泵所能達(dá)的最低壓強，此時的真空度為泵的極限真空度（數(shù)值越小越好）。
                      
           3、最大工作壓強：機械真空泵能工作的最高壓強，如果工作壓強超過這一數(shù)值時，機械真空泵將失去工作能力，通常機械真空泵的工作壓強范圍：

            機械真空泵     單級105—1.333帕 
                                   雙級105—1.333-2帕 
           油擴散泵       1.333×10-1—1.33×10-6帕
                  筆者評論：
         ·機械真空泵:比較好的真空泵國內(nèi)有名的有四川南光國投集團的真空泵（引進(jìn)的是瑞士Baizers公司的DVO O16B技術(shù)生產(chǎn)）；上海真空泵廠的的真空泵（其超高真空離子泵曾榮獲國務(wù)院總理親自簽發(fā)的嘉獎令和特等將證書）；合資泵有萊寶、阿爾卡特、愛德華的，無論是直聯(lián)泵，還是皮帶泵，無論是國產(chǎn)泵還是合資的、純進(jìn)口的，主要技術(shù)指標(biāo)都不相上下，因為它的結(jié)構(gòu)原理決定了它的極限真空度，都在10-2帕左右。萊寶泵極限真空是10-4mbar(10-2帕)，而南光泵也是10-2帕，上海泵也是10-2帕，盡管廠家標(biāo)的10-2帕，無論進(jìn)口泵還是國產(chǎn)泵，其實都到不了10-2帕，因為10-2是廠家將泵開很長時間，在泵口的測量值（空載），如果接上系統(tǒng)管（負(fù)載），根據(jù)系統(tǒng)管道的長短、粗細(xì)及管道的密封性，真空度還會發(fā)生變化，好的能達(dá)到10-1帕（0.1帕）差的可能有幾十帕。所以要想獲得高真空，必須依靠油擴散泵。
        ·油擴散泵：擴散泵是霓虹燈制造用來獲取“高真空”的關(guān)鍵設(shè)備，其原理是通過電爐加熱擴散泵內(nèi)的油，使之變成油分子，將中真空狀態(tài)下的氣體分子頂出管道系統(tǒng)，從而獲得高真空。
          油擴散泵分為：玻璃擴散泵和金屬擴散泵；玻璃擴散泵又分為：玻璃單級泵、玻璃三級泵、玻璃四級泵。     
            玻璃單級泵玻璃三級泵玻璃四級泵金屬擴散泵

                        名稱抽速極限真空優(yōu)點缺點
                        玻璃單級泵60升/秒10-2帕造價低易碎加熱產(chǎn)生應(yīng)力
                        玻璃三級泵60升/秒7×10-4帕造價低易碎加熱產(chǎn)生應(yīng)力
                        玻璃三級泵130升/秒7×10-5帕造價低易碎多次加熱產(chǎn)生應(yīng)力