一、主要用途：
干膜、濕膜、內(nèi)層雙面或單面曝光。
二、主要系統(tǒng)：
曝光控制、光源、冷卻、臺(tái)面真空、電控等。
三、曝光控制：
采用觸摸式控制，全數(shù)字化設(shè)定操作，能量控制精確。
四、光源系統(tǒng)：
常態(tài)點(diǎn)燈方式，并裝有動(dòng)作靈巧的自動(dòng)遮光器之設(shè)置。
五、冷卻系統(tǒng)：
光源冷卻，采用間接式水冷，冷卻方式以蒸餾水置于石英玻璃水套內(nèi)，經(jīng)板式熱交換器充分進(jìn)行熱交換，使效率發(fā)揮致極點(diǎn)，曝光臺(tái)面采用強(qiáng)制氣冷方式，且可控制溫度。
六、真空系統(tǒng)：
采用MYLAR薄膜對(duì)玻璃配合真空系統(tǒng)之強(qiáng)大吸力，達(dá)到緊密配合之高效果。
七、保護(hù)措施：
漏電保護(hù)，緊急開關(guān)，異常訊息警報(bào)及顯示，水箱之水溫過高保護(hù)，冷卻異常自動(dòng)熄滅，冷卻循環(huán)水壓力異常自動(dòng)熄燈等。
八、技術(shù)參數(shù)：
| 項(xiàng) 目 | 規(guī) 格 | 項(xiàng) 目 | 規(guī) 格 |
| 電源 | AC 3φ 380V 00A 50HZ | 監(jiān)控系統(tǒng) | 自我診斷功能及異常訊息提示 |
| 光源系統(tǒng) | 7KW鹵化金屬燈2支 | 曝光量控制 | UV能量積算器 |
| 有效曝光面積 | 850mm×650mm | 照度均勻性 | 85%以上 |
| 曝光框架 | 上層：MYLAR薄膜 下層：強(qiáng)化玻璃 |
燈管壽命 | 800h，30mv/cm2±5% |
| 冷卻水源 | 10噸之冷卻水塔，2-3kgf/cm2 | 真空裝置 | 干式真空泵浦，正常操作下真空壓力650mm/hg以上 |
| 臺(tái)面冷卻方式 | 氣冷式冷卻 | 機(jī)臺(tái)尺寸 | 2700mm×1400mm×1765mm |
| 燈管冷卻方式 | 間接式水冷 | 重 量 | 約1000kg |
| 控制方式 | 觸摸式人機(jī)介面 | ||
