1、低電壓硅微電泳分析儀
2、硅微粉和鋯復(fù)合硅微粉的電熔生產(chǎn)方法
3、全光型硅微諧振式二維加速度傳感器
4、基于硅微機(jī)械技術(shù)的N×N光開(kāi)關(guān)
5、雙柱法制備均一的二氧化硅微球
6、低碳高錳、硅微鈦、鋁高韌性埋弧焊絲
7、高孔隙度二氧化硅微粒子的制備方法
8、交聯(lián)樹(shù)脂包覆二氧化硅微粒及其制造方法
9、一種多孔性二氧化硅微球的制備方法
10、硅微熱致動(dòng)泵及其制造工藝
11、多層硅微機(jī)械結(jié)構(gòu)的掩模－無(wú)掩模腐蝕技術(shù)
12、高純球形無(wú)定型硅微粉的制備
13、玻璃襯底上可動(dòng)硅微機(jī)械結(jié)構(gòu)集成化的制作方法
14、集成硅微電阻式加速度傳感器及其制造加工方法
15、超細(xì)氮化硅微粉氣相合成新工藝
16、“X”　型硅微應(yīng)變固態(tài)壓阻傳感器及其制作工藝
17、曲面貼合過(guò)載保護(hù)的硅微加速度傳感器及制造方法
18、硅微加速度傳感器
19、硅微機(jī)械短接式微帶天線
20、硅微機(jī)械泵
21、硅微粉理療保健墊
22、碳化硅微粉精密分級(jí)裝置
23、集成硅微電阻式加速度傳感器
24、棉條檢測(cè)硅微傳感器
25、雙自由度硅微振動(dòng)陀螺儀
26、超自對(duì)準(zhǔn)亞微米結(jié)構(gòu)的硅微波功率芯片
27、納米硅微波開(kāi)關(guān)二極管
28、硅微振動(dòng)陀螺儀
29、一種硅微機(jī)械傾角傳感器和制作方法
30、玻璃襯底上全干法深刻蝕硅微機(jī)械加工方法
31、硅微機(jī)械結(jié)構(gòu)的制造
32、一種CMOS電路與體硅微機(jī)械系統(tǒng)集成的方法
33、一種超細(xì)硅微粉的生產(chǎn)方法
34、制造懸浮多孔硅微結(jié)構(gòu)的方法及其在氣體傳感器中的應(yīng)用
35、基于硅微加工技術(shù)的超聲定位與測(cè)距微聲學(xué)系統(tǒng)
36、一種用于硅微電容傳聲器中的芯片及其制備方法
37、用于體硅微機(jī)械加工的局部光刻方法
38、一種硅微型駐極體聲傳感器儲(chǔ)電膜的化學(xué)表面修正工藝
39、利用有機(jī)膠粘劑連接兩片式硅微型話筒的方法
40、制備單分散高比表面積二氧化硅微孔微球的方法
41、聚苯乙烯包覆納米二氧化硅微球制備單分散性核/殼復(fù)合顆粒乳液的方法
42、一種鐵電薄膜紅外探測(cè)器硅微橋腐蝕裝置
43、可實(shí)現(xiàn)聲源定向的硅微麥克風(fēng)組合體
44、具有高靈敏度的用于硅微電容傳聲器的芯片及其制備方法
45、帶電子電路的碳化硅微機(jī)電器件
46、聚合物包覆的納米聚硅微粒及其制備方法
47、織物柔軟劑用改性有機(jī)硅微乳液的制備方法
48、硅微通道陣列紅細(xì)胞流變分析方法及裝置
49、一種硅微電容傳聲器芯片及其制備方法
50、一種硅微電容傳聲器芯片及其制備方法
51、二氧化硅微粒為載體的淋巴染料及其制備方法
52、一種納米二氧化硅微粒制備方法
53、單晶硅微機(jī)械加工的電容式麥克風(fēng)及其制造方法
54、一種碳化硅微粉的生產(chǎn)工藝
55、彩色多晶硅微粒及其制備方法
56、硅微型機(jī)電系統(tǒng)諧振器的溫度補(bǔ)償
57、一種硅微壓電式傳感器芯片及其制備方法
58、一種硅微電容傳聲器芯片及其制備方法
59、避免硅微細(xì)結(jié)構(gòu)中的結(jié)構(gòu)層被釋放后發(fā)生粘著的方法與設(shè)備
60、一種用天然粉石英制備高純球形納米非晶態(tài)硅微粉的方法
61、一種高深寬比大孔硅微通道的制作方法
62、膨潤(rùn)土基納米硅微孔膜及其制備方法、數(shù)碼相紙
63、應(yīng)用于硅微加速度傳感器的鍵合技術(shù)
64、硅微機(jī)械自諧振傳感裝置
65、對(duì)稱結(jié)構(gòu)雙級(jí)解耦單晶硅微機(jī)械陀螺儀
66、電阻拾振式硅微機(jī)械諧振傳感器的鎖相閉環(huán)系統(tǒng)
67、一種多晶硅振動(dòng)膜硅微電容傳聲器芯片及其制備方法
68、電阻拾振式硅微機(jī)械諧振傳感器的數(shù)字鎖相閉環(huán)
69、一種合成高度有序的介孔二氧化硅微球的方法
70、電阻拾振式硅微機(jī)械諧振傳感器的數(shù)字鎖相閉環(huán)
71、電磁激勵(lì)高階模態(tài)硅微機(jī)械懸臂梁的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、制作方法及應(yīng)用
72、多孔氧化硅微流體樣品預(yù)處理芯片
73、噴霧造粒制備亞微米級(jí)碳化硅微粉的方法
74、單片單晶硅微機(jī)械加工的電容式壓力傳感器
75、硅微麥克風(fēng)的振膜晶片及其制造方法
76、一種用天然石英粉制備高純超細(xì)硅微粉的方法
77、一種用稻殼制備電子級(jí)球形硅微粉的方法
78、具有分割式串連電極的硅微壓電傳感器芯片及其制備方法
79、硅微機(jī)械兩維傾角傳感器芯片及制作方法
80、一種“中”字形諧振式硅微機(jī)械壓力傳感器
81、具有輔助敏感單元的諧振式硅微機(jī)械傳感器
82、扭轉(zhuǎn)模態(tài)下的硅微機(jī)械懸臂梁傳感器驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、制作方法及應(yīng)用
83、硅微通道內(nèi)連續(xù)打拿極的制作方法
84、二氧化硅微球，其制備及聚集的方法以及二氧化硅微球的可能應(yīng)用
85、一種封裝用環(huán)氧模塑料超細(xì)硅微粉干法生產(chǎn)工藝
86、碳化硅微粉回收的方法
87、一種高純超細(xì)球形硅微粉的制備方法
88、一種高純球形硅微粉的生產(chǎn)方法
89、一種納米硅微粉改性雙組份、無(wú)溶劑聚氨酯膠粘劑及其制備方法
90、一種尺寸可控的中空氧化硅微球的制備方法
91、一種硅微通道結(jié)構(gòu)的自分離制作方法
92、一種新型硅微機(jī)械陀螺
93、用以制備電容式硅微麥克風(fēng)的晶片的無(wú)切割制造方法
94、一種適合單芯片集成的調(diào)頻硅微電容傳聲器系統(tǒng)
95、一種電化學(xué)方法制作硅微通道過(guò)程中在微通道結(jié)構(gòu)與襯底之間產(chǎn)生斷層的方法
96、液晶硅微型顯示器的基板結(jié)合方法
97、有機(jī)硅微孔沸石及其合成方法
98、有機(jī)硅微孔沸石、合成方法及其應(yīng)用
99、一種防粘連的硅微電容傳聲器芯片及其制備方法
100、單自由度硅微陀螺儀
101、硅微機(jī)械傾角傳感器
102、電容式硅微加速度計(jì)裝置及電路
103、電容式硅微加速度計(jì)
104、一種用于硅微電容傳聲器中的芯片
105、具有高靈敏度的用于硅微電容傳聲器中的芯片
106、一種具有高靈敏度的用于硅微電容傳聲器的芯片
107、寬帶硅微機(jī)械雙頻微帶天線
108、一種硅微電容傳聲器芯片
109、一種鐵電薄膜紅外探測(cè)器硅微橋腐蝕裝置
110、一種采用成熟工藝制作的新型硅微電容傳聲器芯片
111、硅微機(jī)械自諧振傳感裝置
112、煉鋼用的微硅低碳低磷低硫錳鋁鈦鐵合金
113、生產(chǎn)白色微硅石的方法
114、微硅高效水泥砂漿和砼抗堿劑
115、微硅高效水泥砂漿防水劑
116、噴動(dòng)－流化床微硅粉增密設(shè)備
117、噴動(dòng)-流化床微硅粉增密設(shè)備
118、螺旋式微硅粉增密機(jī)
119、微硅粉加密系統(tǒng)
120、微硅麥克風(fēng)及其制備方法
121、微硅粉捕集裝置
《硅微粉生產(chǎn)工藝、微硅粉制備配方及硅微粉用途》

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