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軟印刷新技術:納米圖像印刷技術綜述

  • 發(fā)布日期:2006-12-01 瀏覽次數(shù)747
概述

    近年來,不同學科、不同技術間的相互交叉、相互滲透、相互融合的現(xiàn)象十分明顯,一大批新學科、新技術由此浮出水面。被人們稱為“軟印刷技術”之一的納米圖像印刷技術(Nanoimprint Technology)就是一門剛剛冒頭的新技術。它一登臺亮相,便十分引人注目,并紛紛跟進,投入研究和開發(fā)之中。

    該技術吸納了納米技術、精細加工技術、接觸印刷技術、界面科學及新材料等眾多科學技術之精華,并深入研究才開發(fā)出來的。初看起來,這項技術與CD、DVD制作中的熱壓印技術十分相似。然而,經(jīng)仔細比較后,人們又不難看出,兩者有明顯的不同。前者僅僅是微米級的加工技術,而后者在許多方面顯現(xiàn)出的卻是通過原子、分子級別的轉移(移位)而形成圖像的;前者屬一般意義的精細加工,而后者是運用納米制造學原理,獲取超精細圖形的加工技術。如果我們把前者稱為20世紀的技術的話,那么,后者無疑是21世紀的新興技術了。

    納米圖像印刷技術之所以引人注目,是因為該技術與傳統(tǒng)精細加工(如光刻蝕技術、真空蒸鍍技術、電子束加工技術和化學蝕刻技術等)不同,它既無需苛刻的加工環(huán)境要求(如超凈車間、防震技術指標等),又無需嚴格的條件控制(如恒溫、恒濕、高真空度等),就能高精度地加工出各種納米凹凸圖形來。并且還可大批量、低成本地制作此類產(chǎn)品。對此,日本的宮內等人,在發(fā)表的相關文章中,特別對包括納米圖像印刷技術在內的軟印刷技術與傳統(tǒng)工藝之間,制圖作了比較。

    納米圖像印刷技術作為一門實用性很強的應用技術,它在納米電子器件、納米光學元件、納米生物傳感器及其他具有納米結構的功能圖形制作方面,將顯現(xiàn)出其獨特的技術優(yōu)勢。

    今天,人們也毫不懷疑納米圖像印刷技術,將為IT與微電子產(chǎn)業(yè)、生物與生命科學、環(huán)境與新能源技術等領域的加速發(fā)展帶來重大的影響。納米圖像印刷技術的研究與開發(fā),始于20世紀90年代中后期,它是由美國普林士頓大學的Chou教授首先開創(chuàng)的,經(jīng)過近10年的研究、深化和技術配套,目前,該技術正進入初步的實用化階段。與此同時,Chou教授又親自出馬組織策劃,并相繼(或計劃)召開一系列相關國際會議(Internotional Conferenceon Nanoimprint Nanoprint Technology),以促使該技術提升并向全球拓展開來。第1屆、第2屆國際會議分別于2002年12月和2003年12月在美國本土的波士頓等地召開。只過了1年,即2004年12月,又在奧地利的維也納召開了第3屆國際會議。緊接著,計劃中的第4屆大會將于2005年10月在日本的奈良召開??傊?,納米圖像印刷技術,由此從理論到實踐、從研發(fā)到初步實用化,都已邁出了堅實的步伐,其影響也已波及世界各地。

    一、什么是納米圖像印刷技術

    所謂納米圖像印刷技術,說到底是一種新型的壓印轉印技術,它將被廣泛用于納米凹凸圖形的加工制作。納米圖像印刷技術就是將具有納米凹凸圖像的模具作“印版”,用預先涂有聚合物涂層的硅片或玻璃片等作基板(被印物),在相應的設備和器具配合下,通過精確壓印并定型以后,再把模具與基板分離開來。這時,人們會發(fā)現(xiàn),存在于模具表面的納米凹凸圖像便準確無誤地被轉印到基板表面的聚合物膜上了。

這個被轉印出的圖像與模具表面的凹凸圖形大小相等,深淺一致。但形狀正好相反(陰轉陽的圖像),即前者的凸起處恰是后者凹下去的地方,反之亦然。我們把這種利用印刷壓模的原理轉印出具有納米凹凸圖形的技術,叫做納米圖像印刷技術。關于納米圖像印刷的工藝過程,我們可以將Chou教授早期的實驗以文字歸納并表述如下。

    1.模具的加工制作模具是實施納米圖像印刷的重要部件,也是圖像的“給體”。模具加工的精細程度如何,在某種意義上說,它將決定凹凸圖像轉印質量的高低。因此,模具的制作顯得尤為重要。首先,Chou教授在模板片材(如金屬、玻璃、硅、二氧化硅/硅等)上,涂布一種被稱為電子抗蝕劑的樹脂(聚甲基丙烯酸甲酯)膜,然后,按預先設計好的圖形,通過電子束,在該膜上直接掃描出掩膜,再以此掩膜為基礎,用干刻蝕的方法,在模板表面刻蝕出