【序言】
氣體等離子體處理對印刷電路板去污和背面蝕刻是一種較方便、高效、優(yōu)質(zhì)的方法。等離子體處理特別適用于FR4、聚酰亞胺（Polyimide）和聚四氟乙烯（PTFE）材料，因?yàn)檫@些材料的化學(xué)活性較差。而等離子體處理更具有激活活性。
通過高頻發(fā)生器（典型40KHZ），利用電場的能量在真空條件下、分離加工氣體建立等離子體技術(shù)。這些激發(fā)不穩(wěn)定的分離氣體物質(zhì)，將表面進(jìn)行改性和轟擊。處理工藝如紫外線精細(xì)清潔、激活、消費(fèi)和交聯(lián)以及等離子態(tài)聚合是等離子體表面處理的作用。
【等離子體處理工藝的優(yōu)點(diǎn)是】
1、加工工藝可控制 2、環(huán)境保護(hù)工藝
3、低成本加工工藝 4、無處理廢物成本
5、干燥處理
【等離子體處理工件原理】
等離子體是從紫外線發(fā)瑩光的產(chǎn)物，是繼固體，液體、氣體之后，等離子體是物質(zhì)第四態(tài)。等離子體是有離子，自由電子、光子、中子、原子、分子等激發(fā)了電子狀態(tài)。每一個組成部分有能力對表面進(jìn)行處理作用。利用對地的高壓，40KHZ和13.58MHZ高頻發(fā)生器使氣體成為等離子體態(tài)。2.54GHz微波系統(tǒng)是建立等離子體態(tài)的第三種設(shè)備。
以上三種不同頻率的高頻發(fā)生器在應(yīng)用方面稍有不同的適應(yīng)性能。激活了的原子，分子，離子和自由電子物質(zhì)高度集中，能夠在等離子體態(tài)中和固體表面發(fā)生作用，引起了物質(zhì)表面的化學(xué)和物理改性。
等離子體表面處理具有如下作用：清潔作用；激活作用；消融作用；交聯(lián)作用。
【清潔作用Cleanning】
清潔工作是去除弱鍵以用典型-CH 基有機(jī)沾污物。主要特點(diǎn)是只對表面起作用而無侵蝕內(nèi)部作用，得到超高清潔表面作用而對下道工序做好準(zhǔn)備。
【激活作用Activation】
激活作用是表面形成羰基 Carboxyl 羧基 Hydroxyl 羥（基）三種基團(tuán)。這種基團(tuán)具有穩(wěn)定的功能對粘接親水有積極作用來代替弱鍵。主要是增加了表面能量。對聚合物來講由于表面能量低致使粘接性能不好。
【交聯(lián)作用Crosslinking】
交聯(lián)作用是在惰性氣體中進(jìn)行。鍵被打斷而重新組合，形成雙鍵或三鍵或者形成一個自由基和另一鍵組合的鍵。
【消融作用Ablation】
消融作用是轟擊聚合物表面時(shí)，去除聚合物鏈和弱鍵。這種有利于印刷電路板進(jìn)行去污和背面蝕刻。上述三種作用是等離子態(tài)表面處理相交叉作用的綜合。合理正確選擇工藝參數(shù)和氣體混合比例，可以得到最佳效果。
【工藝參數(shù)】
在等離子體處理，如下工藝參數(shù)合理選擇起了很重要的作用
氣體種類和混合比例；功率；加工時(shí)間；工作室壓力；氣體流量。
【氣體混合】
氧是最常用的清潔和激活聚合物表面和其他表面的氣體。惰性氣體如氨是起交聯(lián)作用。其他氣體如 CF4是更具有活潑性。不同氣體的混合可以得到最優(yōu)化工藝。
【氣體流量】
根據(jù)工作室容積，抽真空系統(tǒng)和工作壓力決定氣體流量大小，尤其是工作壓力和氣體流量更具有密切相關(guān)。
【工作壓力】
等離子體處理穩(wěn)定在一定工作壓力范圍內(nèi)。太低或太高的工作壓力導(dǎo)致等離子體處理不穩(wěn)定。高頻發(fā)生器不能符合系統(tǒng)要求，則等離子體處理就會不穩(wěn)定。
對射頻系統(tǒng)來講，工作壓力在100-300 torr 之間最適合。低工作壓力導(dǎo)致激活物質(zhì)有較長的生命。較高工作壓力可以得到較高氣體利用程度。所以必需進(jìn)行優(yōu)選。
【處理時(shí)間】
處理時(shí)間較長一般來講可以得到印刷電路板較深的去污和蝕刻作用。有些情況，修理時(shí)間過長導(dǎo)致過度處理或受熱損壞。
【功率】
高功率能縮短處理進(jìn)間。出于功率高使激活的物質(zhì)更加活潑。在熱量產(chǎn)生中功率起重要作用。并不是功率越高越好。
【注意事項(xiàng)】
高功率和較長處理時(shí)間要影響工作室內(nèi)的溫度。太高工作壓力也要減少等離子體處理的效率。
【應(yīng)用】
根據(jù)不同處理材料選擇工藝參數(shù)。而不同型等離子體處理設(shè)備，如CD 600PC 和 CD-1000PC 由于工作容積不同；工藝參數(shù)就不同。隨機(jī)提供相應(yīng)的工藝參數(shù)。特殊材料處
