大日本印刷與東京大學(xué)副教授竹內(nèi)昌治領(lǐng)導(dǎo)的研究小組聯(lián)合開發(fā)出了利用MEMS技術(shù)的微流路芯片。該芯片在硅基材上形成了微細(xì)的流路及凹槽圖案?？捎糜诘鞍踪|(zhì)功能分析及藥品開發(fā)。通過此次的開發(fā)，大日本印刷計(jì)劃今后面向醫(yī)療儀器廠商、制藥公司和電子產(chǎn)品廠商，積極開展微流路芯片的試制及量產(chǎn)服務(wù)。

    芯片上形成了寬度為幾百μm以下的流路和凹槽。當(dāng)含有細(xì)胞、細(xì)菌等微小顆粒的溶液流入芯片時(shí)，微粒子會(huì)逐個(gè)進(jìn)入凹槽，等間隔排列。由此便可對(duì)細(xì)菌等進(jìn)行分析。

    開發(fā)的芯片為玻璃、硅、玻璃的3層結(jié)構(gòu)。利用大日本印刷擅長(zhǎng)的硅深蝕刻技術(shù)，對(duì)硅層進(jìn)行了貫穿蝕刻?？梢詫?duì)凹槽中的微粒子進(jìn)行透射觀察。