我國科研領(lǐng)域傳來喜訊！中國長城科技集團官方宣布，旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院、河南通用智能裝備有限公司，歷時一年聯(lián)合攻關(guān)， 我國*臺半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機已于5月8日研制成功，*，并實現(xiàn)了*佳光波和切割工藝，在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國際領(lǐng)先水平。

 

　　中國長城表示，這標(biāo)志著，我國半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割技術(shù)取得實質(zhì)性重大突破，相關(guān)裝備依賴進口的局面即將打破，開啟了我國激光晶圓切割行業(yè)發(fā)展的序幕。

 

　　據(jù)悉，鄭州軌交院成立于2017年，幾年來一直圍繞自主安全工業(yè)控制器、高端裝備制造、新一代信息技術(shù)突破開展科研創(chuàng)新、技術(shù)攻關(guān)，被中國長城旗下公司收購后，更是進入新一輪加速發(fā)展期。

 

　　據(jù)介紹，晶圓切割是半導(dǎo)體封測工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序，而與傳統(tǒng)的切割方式相比，激光切割屬于非接觸式加工，可以避免對晶體硅表面造成損傷，并且具有加工精度高、加工效率高等特點，可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。

 

　　我國的*臺半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機通過采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計、特殊運動平臺，可以實現(xiàn)加工平臺在高速運動時保持高穩(wěn)定性、高精度，運動速度可達500mm/s，效率遠高于國外設(shè)備。

 

　　在光學(xué)方面，根據(jù)單晶硅的光譜特性，結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平 ，該設(shè)備采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器，*終實現(xiàn)了隱形切割。

 

　　在影像方面，采用 不同像素尺寸、不同感光芯片的相機 ，配以不同功效的鏡頭，實現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整。

 

　　此外，該裝備還搭載了 同軸影像系統(tǒng) ，可以確保切割中效果的實時確認(rèn)和優(yōu)化，實現(xiàn)*佳切割效果。

 

　　高端智能裝備是國之重器，是制造業(yè)的基石，尤其是半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)高端智能裝備，在國民經(jīng)濟發(fā)展中更是具有舉足輕重的作用。