京都的風(fēng)險企業(yè)紫明半導(dǎo)體,在硅底板上開發(fā)出了GaN類發(fā)光二極管(led)芯片(該公司W(wǎng)eb網(wǎng)站)。其中,藍(lán)色led的輸出功率為最大10mW,與普及型藍(lán)色led芯片的功率幾乎相同,“比起在藍(lán)寶石底板上制作的藍(lán)色led芯片,制造成本不到一半”(該公司)。據(jù)介紹,之所以能夠降低制造成本,是因為與藍(lán)寶石底板相比,硅底板的價格僅為約1/10,另外硅底板比藍(lán)寶石底板柔軟,更易于加工。新產(chǎn)品的發(fā)光波長為450nm。芯片尺寸為0.3mm見方。20mA驅(qū)動時的光度為1.5~2cd。除了藍(lán)色LED之外,紫明半導(dǎo)體還在硅底板上制作出了綠色LED。
通常,在硅底板上生成GaN膜時,由于GaN與硅的熱膨脹率以及晶格常數(shù)差異較大,因此容易產(chǎn)生龜裂等缺陷。此次,通過在硅底板上交互堆疊多層AlInGaN與AlInGaN以外的材料作為緩沖層來抑制缺陷的發(fā)生。使用同樣的手法,日本三墾電氣(Sanken Electric)與名古屋工業(yè)大學(xué)正在共同開發(fā)在硅底板上制作的GaN類LED。三墾電氣通過在硅底板上交互堆疊多層AlN和GaN來作為緩沖層。
由于硅比藍(lán)寶石更容易吸收光線,所以在此次的藍(lán)色LED緩沖層上設(shè)置了反射結(jié)構(gòu)。與藍(lán)寶石相比,硅具有熱傳導(dǎo)性高的優(yōu)點(diǎn),在硅底板上制作的GaN類LED的散熱特性會得到提高。與絕緣的藍(lán)寶石不同,由于硅能夠?qū)щ?,因此還具有可將n型電極安裝在LED芯片最下部的優(yōu)點(diǎn)。通常,用藍(lán)寶石底板制成的LED,由于藍(lán)寶石為絕緣體,因此必須將LED的上部削掉一部分以安裝n型電極。而采用硅底板,則可取消切削工序,因此預(yù)計成品率將得以提高。另外據(jù)介紹,由于硅的硬度比藍(lán)寶石以及SiC低,因此容易切割,所以也便于提高成品率。
紫明半導(dǎo)體計劃從2007年4月開始樣品供貨,目前正在進(jìn)行月產(chǎn)300萬枚芯片的準(zhǔn)備工作。除了以裸芯片(Bare Chip)方式銷售之外,紫明半導(dǎo)體還考慮晶圓供貨。
通常,在硅底板上生成GaN膜時,由于GaN與硅的熱膨脹率以及晶格常數(shù)差異較大,因此容易產(chǎn)生龜裂等缺陷。此次,通過在硅底板上交互堆疊多層AlInGaN與AlInGaN以外的材料作為緩沖層來抑制缺陷的發(fā)生。使用同樣的手法,日本三墾電氣(Sanken Electric)與名古屋工業(yè)大學(xué)正在共同開發(fā)在硅底板上制作的GaN類LED。三墾電氣通過在硅底板上交互堆疊多層AlN和GaN來作為緩沖層。
由于硅比藍(lán)寶石更容易吸收光線,所以在此次的藍(lán)色LED緩沖層上設(shè)置了反射結(jié)構(gòu)。與藍(lán)寶石相比,硅具有熱傳導(dǎo)性高的優(yōu)點(diǎn),在硅底板上制作的GaN類LED的散熱特性會得到提高。與絕緣的藍(lán)寶石不同,由于硅能夠?qū)щ?,因此還具有可將n型電極安裝在LED芯片最下部的優(yōu)點(diǎn)。通常,用藍(lán)寶石底板制成的LED,由于藍(lán)寶石為絕緣體,因此必須將LED的上部削掉一部分以安裝n型電極。而采用硅底板,則可取消切削工序,因此預(yù)計成品率將得以提高。另外據(jù)介紹,由于硅的硬度比藍(lán)寶石以及SiC低,因此容易切割,所以也便于提高成品率。
紫明半導(dǎo)體計劃從2007年4月開始樣品供貨,目前正在進(jìn)行月產(chǎn)300萬枚芯片的準(zhǔn)備工作。除了以裸芯片(Bare Chip)方式銷售之外,紫明半導(dǎo)體還考慮晶圓供貨。